產品優點： 1. 渦輪分子泵和前級泵的完美結合；適合多種應用需求； 2. 模塊化設計原則輕鬆滿足客戶多種應用需求；各部件配合簡便，易於保養維修； 4. 集成的驅動係統，無需額外的控製係統；“即插即用”-無需布線和安裝； 5. 意外斷電時，前級真空安全閥（可選.）可保護真空腔體免受返流影響； 6. 可以直接連接真空計。 | ||||||||
應用領域： 1、研發 2、加速器 3、分析和表麵物理學 4、真空工藝 5、電子束焊接 6、檢漏係統 | ||||||||
技術參數： | ||||||||
型號 | 連接法蘭 | 抽速 l/s | 極限真空mbar | 前級泵抽速 m3/h | ||||
入口 | N2 | Xtradry 150 | Penta | Xtradry 150 | Penta 10 | Penta 20 | Penta 40 | |
Hicube80 | 40 | 35 | 〈1.10-7 | 〈1.10-7 | 7.5 | 11 | 22 | 34 |
