分子泵高真空係統由雙級旋片真空泵,渦輪分子泵,真空傳感器,分子泵控製器及電氣控製等部分組成。抽氣口及氣路連接口采用KF式快速連接結構,簡化安裝過程; 搭配我公司生產的真空管式電爐,隻需一支卡箍便可完成連接,方便操作。是高溫真空燒結、CVD實驗、真空退火、材料處理等要求高真空的獲得設備之一。 | |
主要功能和特點: 1、係統啟動快,抽氣時間短,可獲得無油汙染的清潔真空環境; 2、真空度顯示采用科學計數法,數字顯示,使用方便直觀; 3、測量精度高、穩定性好、抗幹擾能力強; 4、係統操作簡單,方便; 5、可抽吸無腐蝕性、不溶於水、不含有固體顆粒的氣體,吸入氣體中允許混有少量液體。 6、配合HQZ混氣係統,一體式爐架結構,可移動,組合、安裝方便快捷。 | |
主要用途和適用範圍: 用於高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD/CVI實驗等精密氣體的流量控製。 | |
注意:嚴禁氫氣和氧氣同時供氣,保證安全 | |
技術參數: | |
產品型號 | ZK-F(通過歐盟CE認證,證書編號:4635230915/4636230915) |
真空範圍 | 0.1-0.001Pa |
抽 速 | 110L/S |
極限真空 | 5.0*10^-5Pa |
產品配置 | 雙級旋片真空泵+渦輪分子泵 |
測量方式 | 複合真空計 |
真空規管 | 電阻規+電離規 |
冷卻方式 | 風 冷 |
工作電源 | AC220V,50/60Hz |
標準配置 | 波紋管1根,真空角閥1個,卡箍3個,真空計1套 |